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儀器型号 / 儀器參數：FH300
儀器外形尺寸：1000mm × 700mm × 1450光著mm
測量行程 ：300mmX200mm
儀器用途 ：檢測芯片切割之前字符尺寸偏移量
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工具金相顯微鏡是具有電子數字成(chéng)像與目視系統，兼具影像坐這微标測量與顯微觀察功能(néng)的測量型金相顯微鏡。該草電儀器廣泛應用于半導體，FPD面(miàn)闆，電子組件厭土，電路封裝，電路基闆，精密刀具，PCB加工等筆窗方面(miàn)。不僅應用于長(cháng)度、角度等二維測量，亦可用于用訊ITO、ACF導電粒子形狀和瑕疵觀察。是機械、電子、科研院所及計量實驗書坐室不可或缺的計量檢測設備之一。
| 儀器型号/ 儀器參數 | FH300 | |||
| 測量行程(mm)* | 300X200X150 | |||
| 外形尺寸(mm) | 750X640X900 | |||
| 儀器重量(kg) | 200 | |||
| 承載重量(kg) | 30 | |||
| 測量精度 | X/Y≤(2.0+L/200)µm | |||
| L為被(bèi)測物長(chán答站g)度，單位為mm | ||||
| 導軌 | P級精密V型交叉導軌 | |||
| 光栅尺** | 0.5µm光錯醫栅尺 | |||
| 控制方式 | X/Y軸手動控制，Z軸電動控制 | |||
| 圖像傳感器 | 高清晰、高分辨率彩色工業數字攝工子像機 | |||
| 光源 | 透射光 | LED平行冷光源，256級亮度可調 | ||
| 反射光 | 鹵素燈/LED照明器可選 | |||
| 目鏡 | 三目鏡筒 | |||
| 光學(xué)物鏡*** | 手動物鏡轉換器：5X 10X 20X 50X 100X(倍率可選)新長 | |||
| 适用電源 | 100-240V(AC) 50北我/60Hz | |||
| 工作環境 | 溫度22±跳笑;2℃ 濕度30區長%-80% &n務家bsp;振動<0.002g，低于15Hz | |||
備注
* Z軸标配測量行程為150mm，特殊需求可定制
** 标配為0.5µm光栅尺，可選配0子理.1µm光栅尺
*** 可選配自動變倍物鏡轉換器
各型号量程儀器支持定制開(kāi)發(fā)
高精度花崗岩底座、立柱，确保機構有極高的穩定性及精度
高精度、高分辨率光栅尺
高解析度、高分辨率工業專用彩色CCD，确保擁有高質量的鄉訊測量畫面(miàn)
Z軸電動手脈控制
可實現高度輔助測量
可擴展選配DIC微分幹涉模塊
可擴展選配光譜共焦白光測量模塊
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